判斷題MPA為手動(dòng)曝光設(shè)備,PE/UT/NIKON為自動(dòng)曝光設(shè)備。
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5.多項(xiàng)選擇題NIKON硅片對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)對(duì)對(duì)準(zhǔn)精度的影響較大,有三種對(duì)位方式()。
A.WGA
B.EGA
C.LSA
D.FIA
6.多項(xiàng)選擇題對(duì)準(zhǔn)與曝光關(guān)鍵工藝參數(shù)()。
A.對(duì)準(zhǔn)OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深
7.多項(xiàng)選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有()。
A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源
8.多項(xiàng)選擇題對(duì)光刻膠的需求包括()。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
9.多項(xiàng)選擇題光刻膠通常有三種成分:()。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
10.多項(xiàng)選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟?()
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
最新試題
工藝尺寸鏈具有封閉性和關(guān)聯(lián)性,裝配尺寸鏈只有封閉性,沒(méi)有關(guān)聯(lián)性。
題型:判斷題
連桿的()是連桿加工過(guò)程中最主要的定位基準(zhǔn)面。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
加工連桿軸頸前,應(yīng)先加工出曲軸(),以確定各軸頸軸線的正確位置。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
珩磨大頭孔、精鏜小頭孔屬于()階段。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
在如今的技術(shù)條件下,超精密加工所能達(dá)到的是()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
超精密磨削砂輪的修整通常包括()
題型:多項(xiàng)選擇題
距離精度是指相關(guān)零件間的距離尺寸精度,如()
題型:多項(xiàng)選擇題
曲軸的主軸頸和連桿軸頸的軸線()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
在大、小頭孔的加工中,()不是保證精度的主要方法。
題型:多項(xiàng)選擇題
活塞外圓中心線與缸體孔中心線的同軸度屬于()
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題