判斷題勻膠的關鍵是控制膠膜的厚度與膜厚的均勻性。膠膜的厚度決定于膠的粘度和旋轉速度。
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4.多項選擇題NIKON硅片對準系統(tǒng)對對準精度的影響較大，有三種對位方式（）。
A.WGA
B.EGA
C.LSA
D.FIA
5.多項選擇題對準與曝光關鍵工藝參數(shù)（）。
A.對準OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深
6.多項選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有（）。
A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源
7.多項選擇題對光刻膠的需求包括（）。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
8.多項選擇題光刻膠通常有三種成分：（）。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
9.多項選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟？（）
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
10.單項選擇題HMDS的作用是使表面（），增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
最新試題
連桿的（）是連桿加工過程中最主要的定位基準面。
題型：單項選擇題
（）裝配法適用于封閉環(huán)公差要求較嚴格且組成環(huán)又較多的裝配尺寸鏈，在汽車、拖拉機、自行車等產品中得到廣泛應用。
題型：單項選擇題
連桿加工中尺寸精度要求最高的部位是（）。
題型：單項選擇題
加工不淬硬絲杠螺紋的主要方法是（）。
題型：單項選擇題
為了糾正絲杠加工過程中的彎曲變形，在絲杠加工工藝過程中常安排（）工藝。
題型：單項選擇題
在如今的技術條件下，超精密加工所能達到的是（）。
題型：單項選擇題
小頭孔首道工序為（）加工。
題型：單項選擇題
精密主軸部件是超精密加工機床的（）基準，也是保證機床加工精度的核心。
題型：單項選擇題
床鞍移動相對主軸軸線的平行度屬于（）
題型：單項選擇題
加工連桿軸頸前，應先加工出曲軸（），以確定各軸頸軸線的正確位置。
題型：單項選擇題