判斷題通常負(fù)膠的分辨率要高于正膠,正膠的對(duì)比度要高于負(fù)膠。
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3.多項(xiàng)選擇題NIKON硅片對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)對(duì)對(duì)準(zhǔn)精度的影響較大,有三種對(duì)位方式()。
A.WGA
B.EGA
C.LSA
D.FIA
4.多項(xiàng)選擇題對(duì)準(zhǔn)與曝光關(guān)鍵工藝參數(shù)()。
A.對(duì)準(zhǔn)OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深
5.多項(xiàng)選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有()。
A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源
6.多項(xiàng)選擇題對(duì)光刻膠的需求包括()。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
7.多項(xiàng)選擇題光刻膠通常有三種成分:()。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
8.多項(xiàng)選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟?()
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
9.單項(xiàng)選擇題HMDS的作用是使表面(),增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
10.單項(xiàng)選擇題一廠PE和MPA的對(duì)套OVERLAY能力為()。
A.±0.5um
B.±1um
C.±1.5um
D.±2um
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軸類零件在精加工時(shí),一般不會(huì)選擇()為定位基準(zhǔn)。
題型:多項(xiàng)選擇題
超精密磨削砂輪的修整通常包括()
題型:多項(xiàng)選擇題
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曲軸的主軸頸和連桿軸頸的軸線()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
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題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
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為了糾正絲杠加工過程中的彎曲變形,在絲杠加工工藝過程中常安排()工藝。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
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題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題