多項選擇題對準與曝光關鍵工藝參數(shù)()。
A.對準OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深
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1.多項選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有()。
A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源
2.多項選擇題對光刻膠的需求包括()。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
3.多項選擇題光刻膠通常有三種成分:()。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
4.多項選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟?()
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
5.單項選擇題HMDS的作用是使表面(),增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
6.單項選擇題一廠PE和MPA的對套OVERLAY能力為()。
A.±0.5um
B.±1um
C.±1.5um
D.±2um
7.單項選擇題常壓與減壓外延()使用同套光刻版,外延與非外延流程()采用同一套光刻版,后續(xù)光刻層次對位文件標記無法同時編兩個對位標記。()
A.不能,能
B.不能,不能
C.能,不能
D.能,能
8.單項選擇題UT光刻機對位標記信號的探測是通過對位光線經(jīng)掩模板照射到標記臺階上,在臺階邊緣的()線進入信號探測系統(tǒng)內(nèi)。
A.漫反射光
B.衍射光
C.反射光
最新試題
工藝尺寸鏈具有封閉性和關聯(lián)性,裝配尺寸鏈只有封閉性,沒有關聯(lián)性。
題型:判斷題
床鞍移動相對主軸軸線的平行度屬于()
題型:單項選擇題
深孔鉆削在成批生產(chǎn)時,常采用深孔鉆頭在()上進行鉆削。
題型:單項選擇題
毛坯熱處理的目的是消除鍛造或軋制時毛坯中產(chǎn)生的內(nèi)應力,細化晶粒,改善()性能。
題型:單項選擇題
軸類零件在精加工時,一般不會選擇()為定位基準。
題型:多項選擇題
()裝配法適用于封閉環(huán)公差要求較嚴格且組成環(huán)又較多的裝配尺寸鏈,在汽車、拖拉機、自行車等產(chǎn)品中得到廣泛應用。
題型:單項選擇題
齒面滲碳淬火熱處理,其滲碳層厚度與()無關。
題型:多項選擇題
加工連桿軸頸前,應先加工出曲軸(),以確定各軸頸軸線的正確位置。
題型:單項選擇題
超精密磨削砂輪的修整通常包括()
題型:多項選擇題
增材制造又稱()。
題型:單項選擇題