單項選擇題UT光刻機對位標記信號的探測是通過對位光線經(jīng)掩模板照射到標記臺階上,在臺階邊緣的()線進入信號探測系統(tǒng)內(nèi)。

A.漫反射光
B.衍射光
C.反射光


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