多項(xiàng)選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟?()
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
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1.單項(xiàng)選擇題HMDS的作用是使表面(),增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
2.單項(xiàng)選擇題一廠PE和MPA的對(duì)套OVERLAY能力為()。
A.±0.5um
B.±1um
C.±1.5um
D.±2um
3.單項(xiàng)選擇題常壓與減壓外延()使用同套光刻版,外延與非外延流程()采用同一套光刻版,后續(xù)光刻層次對(duì)位文件標(biāo)記無法同時(shí)編兩個(gè)對(duì)位標(biāo)記。()
A.不能,能
B.不能,不能
C.能,不能
D.能,能
4.單項(xiàng)選擇題UT光刻機(jī)對(duì)位標(biāo)記信號(hào)的探測(cè)是通過對(duì)位光線經(jīng)掩模板照射到標(biāo)記臺(tái)階上,在臺(tái)階邊緣的()線進(jìn)入信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)內(nèi)。
A.漫反射光
B.衍射光
C.反射光
最新試題
增材制造又稱()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
一般產(chǎn)品的裝配精度指標(biāo)就是增環(huán)。
題型:判斷題
連桿加工中的關(guān)鍵工序是()的加工。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
小頭孔首道工序?yàn)椋ǎ┘庸ぁ?/p>
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
為了糾正絲杠加工過程中的彎曲變形,在絲杠加工工藝過程中常安排()工藝。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
對(duì)材料為45鋼的普通絲杠,毛坯的熱處理采用()處理。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
連桿加工中尺寸精度要求最高的部位是()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
曲軸的主軸頸和連桿軸頸的軸線()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
絲杠()的選擇不是保證絲杠質(zhì)量的關(guān)鍵。
題型:多項(xiàng)選擇題
旋風(fēng)切削螺紋時(shí),()運(yùn)動(dòng)為主切削運(yùn)動(dòng)。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題