多項選擇題NIKON硅片對準系統(tǒng)對對準精度的影響較大,有三種對位方式()。
A.WGA
B.EGA
C.LSA
D.FIA
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1.多項選擇題對準與曝光關鍵工藝參數()。
A.對準OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深
2.多項選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有()。
A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源
3.多項選擇題對光刻膠的需求包括()。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
4.多項選擇題光刻膠通常有三種成分:()。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
5.多項選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟?()
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
6.單項選擇題HMDS的作用是使表面(),增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
7.單項選擇題一廠PE和MPA的對套OVERLAY能力為()。
A.±0.5um
B.±1um
C.±1.5um
D.±2um
8.單項選擇題常壓與減壓外延()使用同套光刻版,外延與非外延流程()采用同一套光刻版,后續(xù)光刻層次對位文件標記無法同時編兩個對位標記。()
A.不能,能
B.不能,不能
C.能,不能
D.能,能
9.單項選擇題UT光刻機對位標記信號的探測是通過對位光線經掩模板照射到標記臺階上,在臺階邊緣的()線進入信號探測系統(tǒng)內。
A.漫反射光
B.衍射光
C.反射光
最新試題
選擇套類零件毛坯時,不應考慮()。
題型:多項選擇題
在臥式車床床頭箱的部件裝配中,應選擇()作為基準件。
題型:單項選擇題
增材制造又稱()。
題型:單項選擇題
距離精度是指相關零件間的距離尺寸精度,如()
題型:多項選擇題
深孔滾壓是利用金屬在常溫狀態(tài)時的()特點進行的一種壓力光整加工。
題型:單項選擇題
毛坯熱處理的目的是消除鍛造或軋制時毛坯中產生的內應力,細化晶粒,改善()性能。
題型:單項選擇題
對材料為45鋼的普通絲杠,毛坯的熱處理采用()處理。
題型:單項選擇題
超精密磨削的關鍵在于砂輪的選擇、()和高精度的磨削機床。
題型:多項選擇題
套類零件的毛坯類型與()無關。
題型:多項選擇題
連桿的()是連桿加工過程中最主要的定位基準面。
題型:單項選擇題