判斷題影響顯影效果的主要因素包括:曝光時(shí)間、前烘溫度和時(shí)間、光刻膠厚度、顯影液濃度、顯影液溫度、顯影的攪動(dòng)情況和顯影的噴頭等。
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6.多項(xiàng)選擇題NIKON硅片對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)對(duì)對(duì)準(zhǔn)精度的影響較大,有三種對(duì)位方式()。
A.WGA
B.EGA
C.LSA
D.FIA
7.多項(xiàng)選擇題對(duì)準(zhǔn)與曝光關(guān)鍵工藝參數(shù)()。
A.對(duì)準(zhǔn)OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深
8.多項(xiàng)選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有()。
A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源
9.多項(xiàng)選擇題對(duì)光刻膠的需求包括()。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
10.多項(xiàng)選擇題光刻膠通常有三種成分:()。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
最新試題
連桿加工中的關(guān)鍵工序是()的加工。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
活塞外圓中心線與缸體孔中心線的同軸度屬于()
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
在如今的技術(shù)條件下,超精密加工所能達(dá)到的是()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
超精密磨削砂輪的修整通常包括()
題型:多項(xiàng)選擇題
毛坯熱處理的目的是消除鍛造或軋制時(shí)毛坯中產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力,細(xì)化晶粒,改善()性能。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
加工不淬硬絲杠螺紋的主要方法是()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
珩磨大頭孔、精鏜小頭孔屬于()階段。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
選擇套類零件毛坯時(shí),不應(yīng)考慮()。
題型:多項(xiàng)選擇題
精密主軸部件是超精密加工機(jī)床的()基準(zhǔn),也是保證機(jī)床加工精度的核心。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
連桿加工中尺寸精度要求最高的部位是()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題