填空題三層同心的ICP炬管其外管通以Ar氣,以切線方向引入,稱為()氣;中管通以Ar氣,起維持并抬高等離子體焰炬的作用,稱為()氣;內(nèi)管為1~2mm的細(xì)管做成,通以Ar氣稱為()氣,以將試樣引入等離子體中。

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